·精准层蔽控制原子

·层外延膜结构或形态

·均匀或梯度的快速

·振荡信号需依成膜条件和成膜品质

·专业LabView提供全自动制程数字控制

·9项日本专利、3个国际专利

·激光加热：            温度 >1000℃)

·高压可操作：          ~133Pa

·6种靶材的公转和自转

·镀膜腔真空度：        ~5e-9Torr

·Load-Lock腔：         ~5e-7 Torr 可放置两个样品以及四个靶材

·全自动数字控制