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残余气体分析四极质谱仪

Systems for the examination of components present in a vessel or evolved from a process. 

Measures the concentration of gases and vapours in real time.

英国Hiden公司的RGA Series残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers),用于真空诊断和工艺工程的精确分析。 

RGA Series残余气体分析四极质谱仪包括HAL RGA 3F Series RGA3F-PIC三种规格水平。

 

·PPM灵敏度

·通过RS232USBEthernet连接计算机,MASsoft专业软件控制 

·快速显示柱状图、趋势分析和信号峰 

·混合模式扫描-多个windows窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰 

·同步显示数据图,列表 

·同步背景扣除,自动质量数列表 

·数据输出为ASCII格式,至windows设备 

·即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如 ExcelSPC-IV统计过程控制软件等 

 

·质量数范围:   200300 amu

·扫描速度:      100amu/s

·最小扫描步阶:0.01amu

·灵敏度:         0.1 ppm1ppm

·稳定性:         24h以上,峰高变化小于±0.5%

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