质谱仪
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· 等离子体表征分析仪
催化、吸附分析仪
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· 储氢研究分析仪



残余气体分析仪

HAL RGA 四极质谱仪
HMT100   高压残余气体分析仪
HPR30     真空过程气体分析仪
HPR80     活泼性、 腐蚀性气体分析仪

三级过滤四极质谱仪

HAL 3F   三级过滤四极质谱仪
3F/PIC    快速反应气体分析质谱
3F/EPIC 自由基分析质谱
Hiden     四极质谱仪组件

过程控制系统

XBS MBE 沉积速率监控/控制系统
IMP 等离子体刻蚀终点检测仪

在线气体分析质谱仪

全自动定量分析在线质谱仪
QIC20  小型在线气体分析质谱仪
Hydra  多路气体、蒸气分析仪

研究级气体分析质谱

HPR20  精密气体分析系统 
HPR40  溶解气分析系统
HPR50  金刚石CVD气体分析仪
HPR60  分子束取样质谱仪
HPR70  批量进样气体分析系统
HPR90  密封气体分析仪
QIC100 常压气体分析系统

气体取样阀

Proteus 多路进气阀
8路进气转换阀

表面科学分析仪

EQS 二次离子质谱探针
二次离子质谱工作站
3F/IDP 离子脱附分析质谱
IG20 离子枪
IFG200 FAB/离子枪

等离子体表征分析仪

EQP 等离子体质量和能量分析仪
PSM 等离子体质量和能量分析仪
ESP 高级朗缪尔探针
HPR100 ICP-等离子体工作站

智能重量分析仪

IGA 智能重量分析仪
IGAsorp 水分吸附系统
IGA 001 单路气体吸附系统
IGA 002  蒸气吸附系统

催化剂表征系统

高压TPD分析仪
CATLAB 催化微反应器–质谱仪
高压自动突破装置

储氢研究分析仪

IGA智能重量分析仪
高压储氢分析仪








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