高纯气体分析

        高纯度气体供应对许多工业和研究应用至关重要。气体污染可能对产品质量和产量产生毁灭性影响。质谱法为检测纯气流中的污染物提供了无与伦比的多功能性，对大多数物种的检测能力都低于PPM水平。

        应用包括：

            卫星制造吹扫气体分析。

            热等静压工艺（HIP）供气中污染物的气体分析

            闭式循环制冷压缩机气体中杂质的分析

            钢厂还原过程中的高纯氢分析

            半导体工艺气体供应

        Hiden的一系列多气流进气口可用于监测4或8股气流。Hiden的Hydra系统可以监测多达80股气流。