分析大气压等离子体中的：中性粒子（分子和团簇）、自由基、正离子、负离 子和离子能量分布。用于进行等离子体放电过程中的反应动力学、气体分析和团簇分析。

主要用于射频等离子体/直流放电等离子体/激光等离子体和微波等离子体的电子密度、离子密度、等离子体电位和电子温度等状态参数的测量。

Hiden PSM是一台结合质量和能量分析的仪器，用于分析等离子体过程中正、负离子、中性粒子以及自由基的种类和能量分布。

等离子体质量能量分析质谱仪把扇区场能量分析仪和高性能的四极质量过滤器结合在一起作为等离子表征的仪器。等离子体质量能量分析质谱仪可以获得中性粒子、自由基、离子（正、负）的质谱和能量分布。

品牌：Hiden 型号：TOF-qSIMS 制造商：Hiden Analytical Ltd 产地： 英国

The IG20 features a high brightness electron impact gas ion source which is designed specifically for oxygen capability but is also suitable for use with inert and other gases.