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型号:3F/EPIC

EPIC离子/分子分析质谱仪

描述:A system for UHV analysis of neutrals, radicals and ions. Measures the ions, neutrals, and partial pressures in UHV/XHV.

  • 厂商性质

    进口
  • 更新时间

    2020-11-23
  • 访问量

    140
详细介绍

EPIC离子/分子分析质谱仪(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)是带脉冲离子计数和四级杆偏压控制的三级过滤四极质谱仪,用于高精密科学分析,过程研究以及中性粒子、自由基、正负离子的UHV分析。

EPIC离子/分子分析质谱仪可增加能量过滤器、Bessel Box能量分析器或45°扇形能量分析器,升级至HidenPlasma/ SIMS系列EQPEQSPSM Maxim

 

·6912 mm 直径的四极杆可选

·±100 eV离子能量分布,1000 eV可选

·离子源控制,以实现软离子化及表观电势质谱

·脉冲离子计数器,连续7个数量级动态范围,Faraday 选项为5x1010

·一级过滤处增加射频,增强抗污染物能力

·信号选通分辨率0.1μs,用于能量、质量分布随时间变化或TOF研究中

·程序升温脱附时,温度数值同步显示

·标配UHV罩,液氮冷却罩可选 

 ·MASsoft专业软件控制

·可升级至Plasma/ SIMS 配置

 

·质量数范围:      1300  amu(标准配置)

                           50010002500 amu(选配)

·测量速度:         500 points/s

·分辨率:            0.1% Valley1% Valley

·动态范围:         107

·最低检测分压:   5 X 10-15 mbar 1X10-16 mbar

·离子能量:         ±100eV(标准配置)

                           ±1000eV(选配)

·信号选通分辨率:0.1µs

·稳定性:            24h以上,峰高变化小于±0.5%


3F Series Mass Spectrometers (0.68MB)

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

 
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