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Hiden AutoSIMS是一款完全自主运行的全自动二次离子质谱仪（SIMS） ，专为企业级的常规表面分析和批量样品检测而设计。
无论是质量监控（QC）、产品在线检测、失效分析（FA），还是材料研发中的高通量筛选，AutoSIMS都能在无人值守的情况下24/7全天候高效运行，每天可完成数百个样品的分析任务。
AutoSIMS基于Hiden Compact SIMS紧凑、经济的基础架构，同时引入了模块化卡盒样品架和全自动高精度X-Y样品台，将自动化水平提升到工业级应用标准。
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 半导体 | 掺杂分布分析、表面污染检测、工艺验证 |
| 光伏/太阳能 | 薄膜电池层结构分析 |
| 金属/玻璃镀层 | 镀层成分、厚度、均匀性检测 |
| 新材料研发 | 多层膜结构表征、纳米材料分析 |
| 失效分析 | 污染物溯源、粘接失效分析 |
| 质量监控 | 生产线批量样品抽检、工艺稳定性监控 |
| 表面改性 | 离子注入分析、涂层质量评价 |
面向企业用户的定位：AutoSIMS是为批量样品、常规化分析而设计的，强调自动化、高通量和低人员技能门槛
极低的总拥有成本（TCO）：相比同级别自动化SIMS系统，AutoSIMS在购置成本、维护成本和运营成本方面具有明显优势
人效革命：一个操作员可同时管理多台AutoSIMS，专注于结果分析而非设备操作，极大释放人力资源
快速部署：无需专用氮气吹扫，抽真空仅30–40分钟；占地小，标准电源供电，对实验室基础设施要求低
灵活的扩展性：专家用户可访问全部SIMS参数，兼顾研发和高端应用的深度需求
半导体晶圆厂、器件制造商：需要进行掺杂分布和表面污染常规检测
光伏企业：薄膜太阳能电池各层结构的批量深度剖析
镀膜代工厂：镀层厚度和成分的日常质量监控
第三方检测与失效分析实验室：多客户、多类型样品的快速分析和报告出具
材料研发中心：高通量实验样品的表面成分筛选
不锈钢高真空多口分析室
MAXIM 600 P四极杆SIMS/SNMS分析器
IG-20氧/氩主离子枪
全自动X-Y样品台
模块化卡盒样品架（最多96样品）
涡旋泵+涡轮分子泵组（2套）
SIMS数据系统（高性能PC + 双显示器）
MASsoft SIMS + IG-20控制软件 + SIMS Mapper成像软件
潘宁规（总压真空监测与联锁保护）
备件包（SNMS灯丝、IG-20灯丝、真空密封件等）
铯离子源（用于高电负性元素分析）
负离子检测模式
扩展质量范围（最高1000 amu）
更多样品架规格
定制化数据报告格式
用户案例（部分）：
某全球领先太阳能电池厂商——采用AutoSIMS进行薄膜层结构批量分析
半导体IDM企业——用于生产线掺杂和污染物的日常监控
出版物参考：
Depth-profiling analysis of MOCVD-grown triple junction solar cells by SIMS
Iron and nitrogen self-diffusion in non-magnetic iron nitrides
Formation of iron nitride thin films with Al and Ti additives
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