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型号:PSM

PSM等离子体质量和能量分析质谱仪

描述:Hiden PSM是一台结合质量和能量分析的仪器,用于分析等离子体过程中正、负离子、中性粒子以及自由基的种类和能量分布。

  • 厂商性质

    进口
  • 更新时间

    2020-11-23
  • 访问量

    120
详细介绍


PSM是一台差式泵质谱仪(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。

 

·差式泵歧管,通过法兰与过程反应室连接

·电子附着选件,具有可调谐的离子源,用于表观电势MS
·Penning规和互锁装置可提供过压保护
·信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间
·标准分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 离子分析可选

 

·灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆

·质量数范围:     0 ~ 2500amu

·脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围

·能量分析选件,标准 ±100eV1000eV可选

·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选, 高压操作可选
·通过RS232RS485Ethernet LAN ,软件MASsoft 控制

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)

Mass Analysis of CF3I Decomposition in a Surface Barrier Discharge - GEC 2011 (2.8 MB)

Mass Spectroscopy of Metastable Atomic Species in Gas Analysis and Processing Plasmas at High Spectrometer Source Pressures - AVS 2011 (1.6 MB)

Mass Spectroscopy of Metastable Species during Plasma Processing - GEC 2011 (2.1 MB)

Time Resolved Ionisation Studies of HIPIMS - PSE 2006 (848 KB)

Mass Spectrometry in HiPIMS Plasmas - COST Workshop 2012 (3.2 MB)

 
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