型号：EQS

二次离子质谱探针

描述：EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

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详细介绍

EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

·光栅控制，增强深度分析能力
·所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
·灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器

·质量数范围： 300amu，500amu，1000amu

·检测器：离子计数探测器、正负离子探测器、10⁷cps

·质量过滤器： 3F四级杆

·杆直径： 9mm

·最高加热： 250℃

·离子源：电子轰击，可用于SNMS和RGA的单根灯丝

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