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型号:ESPion

高级朗缪尔探针

描述:主要用于射频等离子体/直流放电等离子体/激光等离子体和微波等离子体的电子密度、离子密度、等离子体电位和电子温度等状态参数的测量。

  • 厂商性质

    进口
  • 更新时间

    2020-11-23
  • 访问量

    229
详细介绍


ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的Langmuir探针。

 

·Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位,在所有的商业化探针中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(如,反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如,供电源引起)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率 


 

 

·获得数据速度:     15scans/s

·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析
·300600915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀,

·90°探针,组合式线性-旋转驱动器可选
·ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针,

·ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路

·自清洗循环,防止探针尖端污染
· 经由RS232RS485Ethernet LAN ESPsoft软件控制


ESPION Series - Advanced Langmuir Probes for Plasma Diagnostics (311 KB)

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)

AP0067 - O- Density Measurements in the Pulsed-DC Reactive Magnetron Sputtering of Titanium (215 KB)

AP0121 - Hiden ESPion Plasma Probe Measurements on a Hollow-Cathode Based Large-Volume Plasma Source (277 KB)

AP0142 - Ion Density Increase in High Power Twin-cathode Magnetron System (247 KB)

Energy/Mass Spectrometer Analyser and Langmuir Probe Diagnostics for HIPIMS (1.88 MB)

Mass Spectrometry in HiPIMS Plasmas - COST Workshop 2012 (3.2 MB)

Plasma Diagnostics in High Power Impulse Magnetron Sputtering Discharges - TIRI JSFS 2012 Tokyo YAG (3.52 MB)

 

 
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