The IG5C features a low power, high brightness, surface ionisation source coupled to a compact ion column, providing high performance in a small package.

The Hiden MAXIM quadrupole SIMS analyser is a state of the art secondary ion mass spectrometer for positive and negative, static, dynamic and neutral analytical applications.

EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

Hiden SIMS二次离子质谱工作站提供高性能静态和动态 SIMS 分析，用于的表面成份分析和深度剖析。

TPD 工作站配备多端口 UHV 室，配有加热样品台，与高精度三重过滤质谱仪相结合，配有脉冲离子计数检测器，可实现超过灵敏度和时间分辨率。

The IMP-EPD is a differentially pumped, ruggedised secondary ion mass spectrometer for the analysis of secondary ions and neutrals from the ion beam etch process.